极紫外光源产生方法？
2023-10-26
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一种极紫外光源产生方法。一种极紫外光源，其包括配置为用以产生第一预脉冲激光光束、第二预脉冲激光光束、及主脉冲激光光束的激光光源。）
在一些实施例中，在极紫外光容器内使用第一预脉冲激光光束照射液滴以形成重成形液滴。）
在一些例子中，液滴包括锡液滴。）
在多种实施例中，随后通过使用第二预脉冲激光光束照射重成形液滴以形成种子等离子体。）
随后，且在一些例子中，使用主脉冲激光光束照射种子等离子体以加热种子等离子体，进而产生极紫外光。
