上海微电子的90纳米光刻机已经通过了验收，现在在哪个公司有实际应用？
2022-09-09
52 阅读
这玩意儿他就从来没通过验收，因为是SMEE用了一大堆老欧洲的技术和零部件做出来的东西。
根本就没人会用这台子，可能ICRD会搞一套过来试试。
不过大概率也就扔在一边吃灰了。
现在大家说的是国产化的机台，也就是网传的28nm光刻机。
这玩意儿才是实打实的国产化光刻机，毕竟双工台、光源、物镜、浸没头基本上全部国产化了。
