上海微电子不是早就有90纳米光刻机了吗?

2022-09-22
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上微的这款干式光刻机型号是SSA600/20,最高支持90纳米工艺节点。

而如果要制造28纳米及以下工艺,那就必须要用到浸没式DUV光刻机,所谓的突破就是指的这个,但目前尚无验证机。

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小草

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